产品概述
应用范围
技术特点
技术指标及资料
LCD系列表面清洁分析仪为美国科诺研制的行业性分析仪器,可在分析测试水滴在液晶屏、晶圆(Wafer)、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基础上,进而分析Plasma效果,是一种基于界面化学分析系统的表面清洁度测试系统。
本系列表面清洁度分析仪由仪器主机和CAST™2.0水滴角分析软件两个部分组成。根据样品台移动方式不同,我们将仪器主机分为自动(LCD1000A)、手动(LCD1000M)两种。样品台尺寸及其控制行程可根据客户要求定制。我们为广大客户提供性能更好,价格更合理的仪器以及最专业化的表面清洁度分析仪产品,期盼为客户的研发与品质控制提供更专业的服务保证。
功能实现:
1、测试前:
(1)通过调整进样器前后、左右、上下移动(XYZ)及镜头俯仰角度和升降(Z向),实现调整焦距的目的。
(2)通过控制导轨前后、左右移动(XY),将注射泵移动至角落后,以方便装样。
2、测试过程中:
(1)通过导轨前后、左右方向(XY)的移动控制,实现样品上不同点的水滴角度值的测试;
(2)通过移动进样器升降移动(Z向),完成液滴移液过程(将水液滴转移到液晶屏上);
(3)通过进样器注出液滴,进行角度分析,精度可达0.02uL。
3、测试实现方法:
(1)通过相机捕捉液滴在液晶屏上的图片后,分析敏感点,计算得出角度值;
(2)计算办法:阿莎算法、θ/2法(WH法)或圆拟合法;
(3)软件对镜头的俯视角度进行适当的修正,以期实现更精确的测量。
功能实现:
1、测试前:
(1)通过调整进样器前后、左右、上下移动(XYZ)及镜头俯仰角度和升降(Z向),实现调整焦距的目的。
(2)通过控制导轨前后、左右移动(XY),将注射泵移动至角落后,以方便装样。
2、测试过程中:
(1)通过导轨前后、左右方向(XY)的移动控制,实现样品上不同点的水滴角度值的测试;
(2)通过移动进样器升降移动(Z向),完成液滴移液过程(将水液滴转移到液晶屏上);
(3)通过进样器注出液滴,进行角度分析,精度可达0.02uL。
3、测试实现方法:
(1)通过相机捕捉液滴在液晶屏上的图片后,分析敏感点,计算得出角度值;
(2)计算办法:阿莎算法、θ/2法(WH法)或圆拟合法;
(3)软件对镜头的俯视角度进行适当的修正,以期实现更精确的测量。
技术参数:软件分析基于CAST2.0分析系统
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LCD1000A
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LCD1000M
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相关型号主题词
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全自动型
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手动型
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主机
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主机
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概述
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自动控制样品台
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手动控制样品台
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镜头水平X移动
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自动:600mm 或更大行程
精度:0.01mm
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手动:600mm或更大行程
精度:0.1mm 带手柄
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镜头水平Y移动
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自动:600mm或更大行程
精度:0.01mm
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手动:600mm或更大行程
精度:0.1mm带手柄
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镜头上下Z1移动
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自动:25mm 精度:0.01mm
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手动:25mm 精度:0.01mm
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镜头倾斜调整
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手动
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手动
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样品台水平
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手动 微调
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手动 微调
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进样器控制XY
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手动 12.5mm 0.01mm 精度
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手动 12.5mm0.01mm 精度
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进样器控制Z
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自动 25mm 0.01mm精度
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手动 25mm 0.01mm精度
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整机升降控制Z2
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自动 25mm 0.01mm精度
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手动 25mm 0.01mm精度
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水平调整
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手动微调控制样品台水平
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样品台
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600*600mm 或更大
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进样器
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自动进样注射泵
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手动进样注射泵
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进样器焦距调整:手动
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光学CCD成像系统
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USB口视频捕捉设备+25帧/秒工业黑白CCD相机+
10-50倍连续放大工业镜头
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光学系统调整
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一维水平角度调整机构
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光源系统
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可调亮度单色冷光LED光源,水滴角图像边缘更清晰
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通讯接口
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主机控制及视频系统控制均采用USB2.0通讯接口,兼容性更好、速度更快
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软件
系统
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水滴角计算方式
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全自动计算 按“测试”,软件自动完成拍照、分析敏感点、计算水滴角值三个动作
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水滴角计算办法
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共6种:独家提供θ/2法、真实液滴法、圆拟合法、椭圆拟合法、曲线尺法,全面适用于分析动/静态水滴角值
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液滴形态
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5种分析液滴形态:停滴(2、3态)、悬滴、气泡虏获法以及插板法,多种液滴形态均可适用
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随时间变化水滴角测试
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25帧/秒随时间变化水滴角测试,提供软件触发技术
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动态水滴角分析
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前进角/后退角分析
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表面自由能估算
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独家提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman临界表面张力法等共12种表面自由能估算方法,不但能分析低能固体表面,也能分析高能固体表面,以及他们的分布(色散力、极性力、氢键值、路易斯酸碱等)。
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粘附功计算
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软件自动分析
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→ 自动曲面修正:上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正;
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→ 自动水滴角值计算(θ/2 法)和人工计算水滴角值法切换
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→ 左右水滴角值计算与比较,平均水滴角计算
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→ 水平及俯仰角度,任意角度值修正功能
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→ 自动生成曲线图
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→ 强大的数据库管理功能:备份、压缩、导出EXCEL表格
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→ 自动液滴量估算
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美国科诺工业有限公司特别声明:
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